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本站消息小程序美工，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理装置及调节方法”，专利申请号为CN202011540616.X，授权日为2024年7月5日。

专利摘要：本发明提供了一种等离子体处理装置，包括移动环以及与移动环固定连接的调节环，调节环可以跟随移动环升降，不会阻挡传片通道，调节环可以改变等离子体的反应速率，改善基片边缘的刻蚀均匀性，防止污染物颗粒回流产生刻蚀不良，还包括与移动环连接的间隔环，可以调整调节环与间隔环的高度比例，来改变基片边缘等离子体的刻蚀方向，小程序美工对于不同条件的刻蚀有针对性的更换调节环来达到工艺要求，对于调整刻蚀参数提供了方便。

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今年以来中微公司新获得专利授权79个，较去年同期增加了6.76%。结合公司2023年年报财务数据小程序美工，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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